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发明名称 Verfahren und Apparat zur Detektion von Lageabweichungen
摘要
申请公布号 DE69128164(D1) 申请公布日期 1997.12.18
申请号 DE19916028164 申请日期 1991.04.29
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUGU, MASAKAZU, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, TOKYO, JP;SAITOH, KENJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;HATTORI, JUN, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;HOURYU, SAKAE, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP
分类号 G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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