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发明名称 Verfahren zum Herstellen von Mikrokontakten eines Halbleiterbauelements
摘要
申请公布号 DE19540124(C2) 申请公布日期 1997.12.18
申请号 DE1995140124 申请日期 1995.10.27
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD., ICHON, KYOUNGKI, KR 发明人 RYOU, EUI KYU, ICHON, KYOUNGKI, KR
分类号 H01L21/28;H01L21/60;H01L23/485;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/336 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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