发明名称 Vorrichtung zum Trockenreinigen von staubverschmutzten Hilfsgegenständen zur Handhabung und Aufbewahrung von Halbleiterwafern
摘要
申请公布号 DE19623766(A1) 申请公布日期 1997.12.18
申请号 DE19961023766 申请日期 1996.06.14
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 79108 FREIBURG, DE 发明人 STROH, RUEDIGER JOACHIM, DIPL.-ING., 79098 FREIBURG, DE;SCHWEINOCH, BOZENKA, 79331 TENINGEN, DE;TREFZER, MARTIN, 79238 EHRENKIRCHEN, DE;THOMAS, UWE, 79211 DENZLINGEN, DE;ALLMANN, ERICH, 79297 WINDEN, DE;COAD, CRAIG, SHADY SHORES, TEX., US
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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