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发明名称
摘要
申请公布号 JP2692198(B2) 申请公布日期 1997.12.17
申请号 JP19880292613 申请日期 1988.11.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/458;C30B25/12;C30B25/16;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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