发明名称
摘要
申请公布号 JP2691594(B2) 申请公布日期 1997.12.17
申请号 JP19880303974 申请日期 1988.12.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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