发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING A SIDE WALL CONTACT IN A NONVOLATILE ELECTRICALLY ALTERABLE MEMORY CELL
摘要
申请公布号 EP0429509(B1) 申请公布日期 1997.12.17
申请号 EP19890909313 申请日期 1989.07.21
申请人 XICOR, INC 发明人 YEH, BING
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L21/336;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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