陶瓷-金属粘合材料、陶瓷-金属粘合件的制法及真空密封容器

摘要

本发明提供了一种陶瓷-金属粘合材料，一种使用该材料的陶瓷-金属粘合件的制造方法；及一种使用该材料制作的真空密封容器。用该材料以活性金属法对真空密封容器作陶瓷-金属封接时，可抑制元素由密封件向钎焊料中扩散，重复性良好地形成可靠性高的封接部件。本发明的结合材料包括：设置于金属制密封件4一侧的金属钎焊料1；设置于陶瓷制绝缘容器5一侧的活性金属钎焊料3；及设置于上述金属钎焊料1、3之间、防止金属元素扩散的中间层2。

主权项

1.一种陶瓷-金属粘合材料，系用于将由金属部件结合于陶瓷部件上的陶瓷-金属封接材料，其特征在于，所述封接材料包括：设置于上述金属部件一侧的金属钎焊料成分；设置于上述陶瓷部件一侧的活性金属钎焊料成分；设置于上述金属钎焊料成分和活性金属钎焊料成分之间、含有上述金属部件成分的固相状态、以防止上述金属部件的组成元素扩散的中间层。