| 发明名称 |
Arrangement for processing a measurement signal corresponding to the intensity of X-rays reflected by a multilayer structure on a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0574987(B1) |
申请公布日期 |
1997.12.17 |
| 申请号 |
EP19930201646 |
申请日期 |
1993.06.09 |
| 申请人 |
LABORATOIRES D'ELECTRONIQUE PHILIPS S.A.S.;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
FRIJLINK, PETER |
| 分类号 |
G01B15/02;G01N23/20;G01N23/207;(IPC1-7):G01N23/20 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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