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发明名称
摘要
申请公布号 JP2691126(B2) 申请公布日期 1997.12.17
申请号 JP19930236643 申请日期 1993.09.22
申请人 发明人
分类号 C01B13/32;C01G1/00;C01G3/00;C04B35/45;C04B35/64;C04B35/65;C04B35/653;C23C16/40;H01B12/00;H01B12/04;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):C01B13/32 主分类号 C01B13/32
代理机构 代理人
主权项
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