透明导电叠层及使用该透明导电叠层的电致发光元件

摘要

透明导电叠层，其透明基一个主表面上形成主要含铟、锡和氧的透明导电层，它具极佳耐湿热和耐划伤性，可用于各种透明电极。透明导电层具稳定非晶结构，电阻率不高于1×10^-2Ω·cm，电子迁移率不低于20cm²/(V·sec)。其制法为：在高氧浓度下用溅射工艺在基片上形成主要含铟、锡和氧且电阻率高于1×10^-2Ω·cm的非晶薄膜，在80-180℃下热处理使电阻率降到不高于1×10^-2Ω·cm并保持非晶结构。

主权项

1.一种透明导电叠层，其特征在于：主要包含铟、锡和氧的非晶透明导电层形成在透明基片的一个主表面上，当进行热处理时，所说透明导电层保持非晶状态。