| 发明名称 |
THIN FILM TRANSISTOR AND FABRICATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09326493(A) |
申请公布日期 |
1997.12.16 |
| 申请号 |
JP19960144268 |
申请日期 |
1996.06.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAKAJIMA TAKESHI;MORITA TAKESHI;KOBAYASHI KAZUHIRO;NUMANO YOSHINORI;MURAI HIROYUKI;IWASA TOSHINORI;KUBOTA TAKESHI;NOGUCHI KAZUHIKO;KODAMA SATOSHI |
| 分类号 |
H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/786 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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