| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ESTIMATING LIFE OF DIELECTRIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09326429(A) |
申请公布日期 |
1997.12.16 |
| 申请号 |
JP19960145235 |
申请日期 |
1996.06.07 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ERIGUCHI KOUJI |
| 分类号 |
G01R31/26;G11C29/00;G11C29/56;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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