| 发明名称 |
FORMING METHOD OF ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09326395(A) |
申请公布日期 |
1997.12.16 |
| 申请号 |
JP19960144030 |
申请日期 |
1996.06.06 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAWAKITA TETSUO;MATSUMURA KAZUHIKO |
| 分类号 |
H01L21/288;C23C18/31;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/60;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/288 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
