发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE DESIGN SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH09325980(A) 申请公布日期 1997.12.16
申请号 JP19960144005 申请日期 1996.06.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUKAHARA YOSHIHIRO;SASAKI YOSHINOBU;CHAGI SHIN
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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