发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09326488(A) 申请公布日期 1997.12.16
申请号 JP19960143008 申请日期 1996.06.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMADA TAKAYUKI;ERIGUCHI KOUJI
分类号 H01L21/302;H01L21/265;H01L21/3065;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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