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经营范围
发明名称
POLISHING HEAD
摘要
申请公布号
JPH09323250(A)
申请公布日期
1997.12.16
申请号
JP19960145936
申请日期
1996.06.07
申请人
NIKON CORP
发明人
KOYAMA TORU;SHIODA TAMOTSU
分类号
B24B13/01;F16C32/04;F16C32/06;(IPC1-7):B24B13/01
主分类号
B24B13/01
代理机构
代理人
主权项
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