| 发明名称 |
TARGET ON PHYSICAL VAPOR DEVELOPMENT SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09324265(A) |
申请公布日期 |
1997.12.16 |
| 申请号 |
JP19970050216 |
申请日期 |
1997.03.05 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
JIEEMUZU BUAN GOU;FUAANANDO DOORIINZU;KURISUTOFUAA HAGAATEII;MAAKU ROIDO;HAWAADO TAN;SHIYAN YAN;AARU SUTEIIBU UESUTO |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
