发明名称 INTERFEROMETER PHASE MEASUREMENT DEVICE, INTERFEROMETER PHASE FLUCTUATION CORRECTION DEVICE AND MEDIUM FLUCTUATION CORRECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09318310(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960138402 申请日期 1996.05.31
申请人 NIKON CORP 发明人 KURAMOCHI KAZUO
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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