MICROWAVE PLASMA TREATMENT APPARATUS,申请号JP19960161188-传众专利搜索

发明名称	MICROWAVE PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH09321030(A)	申请公布日期	1997.12.12
申请号	JP19960161188	申请日期	1996.05.31
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	ISHII NOBUO
分类号	H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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