| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09321319(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960199784 |
申请日期 |
1996.07.10 |
| 申请人 |
TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC |
发明人 |
KIGAMI MASAHITO |
| 分类号 |
G01L1/18;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L1/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
