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发明名称 MANUFACTURE OF EL ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH09320761(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960133626 申请日期 1996.05.28
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 TOJO SATOSHI
分类号 H05B33/10;C23C16/18;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/461;(IPC1-7):H05B33/10;H01L21/306 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
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