| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09321229(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960207302 |
申请日期 |
1996.08.06 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
TAKASU HIROAKI;OSANAI JUN;KITAMURA KENJI |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/822;H01L21/84;H01L27/04;H01L27/08;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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