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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH09321045(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960137144 申请日期 1996.05.30
申请人 NEC CORP 发明人 MIKAGI IKU
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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