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发明名称 METHOD FOR FORMING OXIDE FILM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS FOR FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH09321040(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960132376 申请日期 1996.05.27
申请人 SONY CORP 发明人 HAMAZAKI KENICHI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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