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发明名称 POLISHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH09321000(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960131996 申请日期 1996.05.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAKAI YUICHI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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