| 发明名称 |
TAPER ETCHING METHOD FOR METALLIC THIN FILM, ULTRAVIOLET RAY RADIATION DEVICE AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE MANUFACTURED BY USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09321019(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960139297 |
申请日期 |
1996.05.31 |
| 申请人 |
ADVANCED DISPLAY:KK |
发明人 |
OTSUKI HIDEAKI;MAEJIMA TARO |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/26;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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