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发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09321294(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960140001 申请日期 1996.06.03
申请人 NEC CORP 发明人 MASUOKA KANMIYOU
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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