发明名称 |
PROCEDE DE MODIFICATION DU DOPAGE D'UNE COUCHE DE SILICIUM |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2739491(B1) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
申请号 |
FR19950011626 |
申请日期 |
1995.09.28 |
申请人 |
SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA |
发明人 |
KALNITSKY ALEXANDER;LEPERT ARNAUD |
分类号 |
H01C17/26;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01C17/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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