发明名称 PROCEDE DE MODIFICATION DU DOPAGE D'UNE COUCHE DE SILICIUM
摘要
申请公布号 FR2739491(B1) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 FR19950011626 申请日期 1995.09.28
申请人 SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA 发明人 KALNITSKY ALEXANDER;LEPERT ARNAUD
分类号 H01C17/26;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01C17/26
代理机构 代理人
主权项
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