发明名称 |
METHOD OF EVALUATING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH09321108(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
申请号 |
JP19960131683 |
申请日期 |
1996.05.27 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KATAYAMA TOSHIHARU;OTANI NAOKO;IMAI YUKARI |
分类号 |
H01L21/3063;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3063 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|