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发明名称 RECOVERY METHOD AND RECOVERY EQUIPMENT OF SURFACE CONTAMINANT
摘要
申请公布号 JPH09318507(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960134522 申请日期 1996.05.29
申请人 NEC CORP 发明人 HIROSHIMA SHOICHI
分类号 G01N1/28;H01L21/304;(IPC1-7):G01N1/28 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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