| 发明名称 |
MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09321288(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960136210 |
申请日期 |
1996.05.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMASHITA KYOJI;NAKAOKA HIROAKI;TAKASE MICHIHIKO;UMIMOTO HIROYUKI;ODANAKA SHINJI;HORI ATSUSHI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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