发明名称 DEVELOPING DEVICE FOR MULTILAYERED PHOTORESIST MASTER DISK
摘要
申请公布号 JPH09320124(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960151919 申请日期 1996.05.24
申请人 RICOH CO LTD 发明人 FUJIWARA YASUHIDE
分类号 G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 G11B7/26
代理机构 代理人
主权项
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