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发明名称 METHOD FOR FORMING METALLIC WIRE
摘要
申请公布号 JPH09321023(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960132380 申请日期 1996.05.27
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/28;C23F4/00;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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