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发明名称 PROBING PAD FOR HIGH-CURRENT PROBE TEST
摘要
申请公布号 JPH09321103(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960135576 申请日期 1996.05.29
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YOKOZAWA MINORU
分类号 G01R31/26;G01R1/06;H01L21/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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