发明名称 WASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09321014(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960156034 申请日期 1996.05.28
申请人 SONY CORP 发明人 FURUKAWA TOMOHARU
分类号 B03B5/22;B03B5/32;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B03B5/22
代理机构 代理人
主权项
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