| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09321296(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960154990 |
申请日期 |
1996.05.27 |
| 申请人 |
TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC |
发明人 |
KIGAMI MASAHITO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/20;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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