| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09321051(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960129573 |
申请日期 |
1996.05.24 |
| 申请人 |
DENSO CORP |
发明人 |
NARUSE TAKAYOSHI;ISOBE YOSHIHIKO;KANAMARU TOSHITAKA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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