| 发明名称 |
SAMPLE POSITION CONTROL DEVICE FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09320503(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960133097 |
申请日期 |
1996.05.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI SCI SYST:KK |
发明人 |
KOMURO HIROYUKI;TOMIZAWA JUNICHIRO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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