| 发明名称 |
PLASMA TREATING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09321031(A) |
申请公布日期 |
1997.12.12 |
| 申请号 |
JP19960300039 |
申请日期 |
1996.11.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YOKOGAWA KATANOBU;ITABASHI NAOSHI;TAJI SHINICHI;MORI MASASHI;SUZUKI KEIZO;ONO TETSUO |
| 分类号 |
H05H1/46;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
