SERIES OF LAYERS AND SUBSTRATE-BUFFER SYSTEM, AND PROCESS FOR THE PRODUCTION THEREOF

摘要

Die Erfindung betrifft eine Schichtenfolge sowie Substrat-Puffer-System und Verfahren zur Herstellung derselben. Dabei ist es Aufgabe der Erfindung, eine Schichtenfolge sowie ein Substrat-Puffer-System zu schaffen, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen bereitzustellen, bei dem eine verbesserte Fehlanpassung der Gitterkonstante erreicht wird. Dazu weist die Schichtenfolge eine erste, aus einer zumindest einer ersten Legierungskomponente enthaltenden, intermetallischen Verbindung bestehende Schicht auf, die mit einer zweiten als Pufferschicht vorgesehenen Schicht verbunden ist, wobei diese zweite Schicht aus einem Material besteht, welches durch Segregation der ersteren Komponente der ersten Schicht und einem Adsorbat, zum Beispiel Stickstoff, an der Oberfläche der ersten Schicht gebildet ist. Vorzugsweise ist ein Metall der Gruppe III des periodischen Systems der Elemente die erste Komponente der ersten Schicht.