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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum reaktiven Beschichten eines Substrats
摘要
申请公布号 DE4025231(C2) 申请公布日期 1997.12.11
申请号 DE19904025231 申请日期 1990.08.09
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 8758 GOLDBACH, DE
分类号 C23C14/00;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/10 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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