Verfahren zum Reinigen,申请号DE19916026648T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Reinigen
摘要
申请公布号	DE69126648(T2)	申请公布日期	1997.12.11
申请号	DE19916026648T	申请日期	1991.03.15
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP;JAPAN FIELD CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	INADA, MINORU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 235, JP;KABUKI, KIMIAKI, OHTA-KU, TOKYO, JP;IMAJO, YASUTAKA, HACHIOJI-SHI, TOKYO 192-03, JP;YAGI, NORIAKI, YOKOHAMASHI, KANAGAWA 244, JP;SAITOH, NOBUHIRO, OHTA-SHI, GUNMA 373, JP
分类号	B01D12/00;C08G65/00;C08L71/02;C11D1/29;C11D1/34;C11D1/40;C11D1/62;C11D1/74;C11D3/00;C11D3/16;C11D3/18;C11D3/20;C11D3/37;C11D3/43;C11D7/24;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/50;C11D11/00;C23G5/02;C23G5/024;C23G5/032;C23G5/04;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/08;C11D10/02;H01L21/304	主分类号	B01D12/00
代理机构		代理人
主权项
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