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发明名称 Trockenätzvorrichtung und Verfahren zum Verhindern des Kondensierens von Restreaktionsgas auf Scheiben nach Ätzen
摘要
申请公布号 DE19713972(A1) 申请公布日期 1997.12.11
申请号 DE1997113972 申请日期 1997.04.04
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD., SUWON, KYUNGKI, KR 发明人 KIM, TAE-WOOK, SUWON, KYUNGKI, KR;NOH, SU-KWANG, SEOUL/SOUL, KR;PARK, JIN-HO, SUWON, KYUNGKI, KR
分类号 C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/08 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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