VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES ATMOSPHÄRENDRUCKGLIMMENTLADUNGSPLASMA,申请号DE19926023062-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES ATMOSPHÄRENDRUCKGLIMMENTLADUNGSPLASMA
摘要
申请公布号	DE69223062(D1)	申请公布日期	1997.12.11
申请号	DE19926023062	申请日期	1992.12.09
申请人	OKAZAKI, SATIKO, TOKIO/TOKYO, JP;OGOMA, MASUHIRO, WAKO, SAITAMA, JP	发明人	OKAZAKI, SATIKO, TOKIO/TOKYO, JP;OGOMA, MASUHIRO, WAKO, SAITAMA, JP
分类号	C23C14/54;C23C16/505;C23C16/52;C23C16/54;H05H1/00;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/00;C23C16/50	主分类号	C23C14/54
代理机构		代理人
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