| 摘要 |
Revestimiento duro multicapas elaborado por depósito iónico sobre la superficie de un sustrato y procedimiento de obtención del mismoconsistente en efectuar en forma sucesiva: la limpieza del sustrato por bombardeo iónico obtenido pordescarga en un gas inerte; el depósito de lacapa de titanio por evaporación del titanio manteniendo la descarga; el depósito de la capa de nitruro de titanio por reemplazo progresivo del gasinerte por el nitrógeno; el depósito de la capa de transición de carbonitruro de titanio por reemplazo progresivo del nitrógeno por unhidrocarburo; el depósito de la capa de i-carbono por interrupción de la evaporación de titanio y supresión de nitrógeno, y continuación de ladescarga en el hidrocarburo; dicho procedimiento siendo llevado a cabo a través de un dispositivo que comprende un recinto hermético (1) que llevauna tapa (17), en la cual se ubican: un cátodo porta sustrato (8), rodeado por una pantalla (15), un dispositivo de evaporación de titanio (3) queincluye un canón de electrones (5), medios de alimentación a gas (10), (11), una pantalla móvil retráctil (16) ubicada encima del dispositivo deevaporación del titanio (3), y orificios (6), (7) conectados a una bomba de vacío, el recinto (1) está constituido por dos cámaras (18), (19)superpuestas separadas por un tabique intermedio (20, cada cámara lleva un orificio (6), (7), conectado a una bomba de vacío; el canón de electrones(5) está ubicado al nivel de la platina intermedia (2), la cámara superior (18) está provista en su periferia de solenoides (12), (13); un filamentode tungsteno (14) calentado por efecto Joule, se ubica entre el cátodo porta-sustrato (8) y la pantalla móvil (16), y un tercero electrodo (9) |
