| 发明名称 |
Wafer overflow etching bath having outlet holes in sidewalls |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2313811(A) |
申请公布日期 |
1997.12.10 |
| 申请号 |
GB19970003341 |
申请日期 |
1997.02.18 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
JUNG-HO * KANG;KWANG-YUL * LEE;DONG-CHO * MAENG;JONG-SUB * HWANG |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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