| 发明名称 |
Tangential flow pumping channel for turbomolecular pumps |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0691476(B1) |
申请公布日期 |
1997.12.10 |
| 申请号 |
EP19940202623 |
申请日期 |
1994.09.12 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
HELMER, JOHN C.;LEVI, GIAMPAOLO |
| 分类号 |
F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 |
主分类号 |
F04D19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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