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发明名称 Pattern forming material and process for forming pattern using the same
摘要
申请公布号 EP0388813(B1) 申请公布日期 1997.12.10
申请号 EP19900105012 申请日期 1990.03.16
申请人 HITACHI, LTD.;HITACHI CHEMICAL CO., LTD. 发明人 UENO, TAKUMI;SHIRAISHI, HIROSHI;HAYASHI, NOBUAKI;FUKUMA, EMIKO (NEE AOKI);TADANO, KEIKO
分类号 G03F7/038;C07C309/65;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
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