A METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING THE SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号KR19940005405-传众专利搜索

发明名称	A METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING THE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	KR0124484(B1)	申请公布日期	1997.12.10
申请号	KR19940005405	申请日期	1994.03.18
申请人	MATSUSITA DENKI SANKYO KK.	发明人	ONISI, DERUHITO;YANO, GOUSAKU;NOMURA, NOBORU;ENDO, MASAYUKI
分类号	H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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