| 发明名称 |
BASE PLATE CONVEYING MEMBER AND RESIST APPLYING DEVICE USING BASE PLATE CONVEYING MEMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09315567(A) |
申请公布日期 |
1997.12.09 |
| 申请号 |
JP19960128438 |
申请日期 |
1996.05.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIBA MITSUAKI;NAMIKI JUNICHI;YANASE HIROYASU |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C3/18;B65G49/00;G02F1/1333;H01L21/027;(IPC1-7):B65G49/00;G02F1/133 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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